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1.前處理:晶圓清洗、去氧化層、活化表面。
2.裝載:將晶圓固定于旋轉(zhuǎn)載具,浸入鍍液。
3.電鍍:
施加電流,金屬離子在晶圓表面還原沉積。
旋轉(zhuǎn)載具確保鍍液流動均勻,消除厚度差異。
4.后處理:鍍層退火、清洗、干燥。
1.高均勻性:
旋轉(zhuǎn)+噴淋設(shè)計減少“邊緣增厚”現(xiàn)象,鍍層均勻性達±5%以內(nèi)。
2.精密控制:電流密度精度:±1 mA/cm2;溫度波動:±0.5℃。
3.潔凈度保障:設(shè)備內(nèi)建HEPA過濾系統(tǒng),滿足Class 1000以下潔凈環(huán)境。
4.高效生產(chǎn):支持多片晶圓同時處理(如6片/批次),UPH(每小時產(chǎn)量)可達50~100片。
1.先進封裝:2.5D/3D IC的TSV鍍銅、Fan-Out封裝中的RDL金屬化。
2.功率器件:IGBT、MOSFET背面金屬化(鍍銀、鍍鎳)。
3.傳感器與MEMS:微結(jié)構(gòu)表面鍍金,提升電氣性能與可靠性。 無氰鍍鋅設(shè)備使用鋅酸鹽絡(luò)合劑替代。海南超硬鍍層電鍍設(shè)備
電鍍生產(chǎn)線其組成部分圍繞 “前處理→電鍍處理→后處理→輔助控制” 具體如下:
一、工藝處理系統(tǒng)
1. 前處理設(shè)備
除油裝置:
化學除油槽:使用堿性溶液或表面活性劑,去除工件表面油污。
電解除油槽:通過電化學作用強化除油效果,分陽極除油(適用于鋼鐵件)和陰極除油(適用于鋁、銅等易腐蝕金屬)。
酸洗 / 活化設(shè)備:
酸洗槽-活化槽-水洗槽
2.電鍍處理設(shè)備
鍍槽主體:
按電鍍方式分類:
掛鍍槽:用于中大件或精密件
滾鍍機:用于小尺寸、大批量工件(如螺絲、電子元件)
連續(xù)鍍設(shè)備:針對帶狀 / 線狀工件(如鋼帶、銅線)
槽體材料:根據(jù)電解液性質(zhì)選擇
3. 后處理設(shè)備
清洗系統(tǒng):多級水洗(冷水洗、熱水洗),去除鍍層表面殘留電解液,防止腐蝕。
鈍化 / 封閉裝置:
鈍化槽:通過鉻酸鹽、無鉻鈍化劑等形成保護膜(如鍍鋅后的藍白鈍化、五彩鈍化),提高耐腐蝕性。
封閉槽:用于多孔鍍層(如陽極氧化膜),通過熱水封閉或有機涂層封閉,增強膜層致密性。
干燥設(shè)備:
熱風干燥箱:適用于小件批量干燥,溫度可控(50~150℃)。
離心干燥機:滾鍍后工件甩干(滾筒直接接入,快速去除表面水分)。
特殊處理:如鍍后拋光(機械或電解拋光)、涂油(防銹)等。 海南超硬鍍層電鍍設(shè)備過濾循環(huán)設(shè)備通過精密濾芯凈化電解液,去除金屬顆粒等雜質(zhì),保障鍍液清潔與工藝穩(wěn)定。
是專為電感類電子元件(如線圈、磁芯、電感器等)設(shè)計的電鍍加工設(shè)備,其特點是采用雙滾筒結(jié)構(gòu),結(jié)合滾鍍工藝,以實現(xiàn)小型電感元件的高效、均勻鍍層處理。
雙滾筒設(shè)計:兩個滾筒可同時或交替運行,一桶裝卸時另一桶持續(xù)工作,減少停機時間,提升產(chǎn)能。
滾筒優(yōu)化:采用絕緣耐腐蝕材質(zhì)(如PP),開孔設(shè)計促進鍍液流通,防纏繞結(jié)構(gòu)適配電感元件的細小特性。
滾鍍工藝:元件在滾筒內(nèi)翻滾,通過電流作用均勻沉積鍍層(如鎳、錫、銀),雙桶可調(diào)控轉(zhuǎn)速、電流等參數(shù)。
高效連續(xù)生產(chǎn):雙桶交替作業(yè)支持大規(guī)模電鍍,尤其適合貼片電感(SMD)、磁環(huán)等小件批量處理。
鍍層均勻穩(wěn)定:滾筒旋轉(zhuǎn)避免元件堆積死角,結(jié)合陰極導(dǎo)電設(shè)計,確保復(fù)雜形狀表面鍍覆一致性。
低損傷高適配:柔和翻滾減少碰撞損耗,可適配防腐、可焊、導(dǎo)電等多種鍍層工藝需求。
典型場景:貼片電感、繞線電感、磁芯等鍍鎳(抗氧化)、鍍錫(焊接)或鍍銀(高導(dǎo))處理。
關(guān)鍵注意:需匹配元件尺寸選擇滾筒孔徑,定期維護鍍液成分及導(dǎo)電觸點,避免漏料或鍍層缺陷。
1.鍍銅液方面
酸性鍍銅液導(dǎo)電性強、分散性佳,能快速鍍厚銅,常用于電子元件底層鍍銅;
堿性鍍銅液穩(wěn)定性好,腐蝕性小,所得銅層結(jié)晶細、結(jié)合力強,適用于鋼鐵基體打底。
2.鍍鎳液
瓦特鎳鍍液成分簡單、易維護,鍍層光亮耐磨,在防護裝飾性電鍍中廣泛應(yīng)用;
氨基磺酸鎳鍍液分散與深鍍能力優(yōu),鍍層內(nèi)應(yīng)力低、延展性好,多用于對鍍層質(zhì)量要求高的電子、航天領(lǐng)域。
3.鍍鋅液里
堿性鍍鋅液陰極極化作用強,鋅層耐腐蝕性好;
酸性鍍鋅液電流效率高、沉積快,外觀光亮,不過腐蝕性強。
4.鍍金液
有物鍍金液,鍍層均勻光亮、硬度高;
無氰鍍金液則更環(huán)保。
5.鍍銀液
物鍍銀液電鍍性能好,鍍層導(dǎo)電導(dǎo)熱優(yōu);
硫代硫酸鹽鍍銀液毒性小、更環(huán)保。選擇鍍液要綜合零件材質(zhì)、形狀、使用環(huán)境及實驗?zāi)康牡?,兼顧成本與環(huán)保。
在選擇鍍液時,需要根據(jù)待鍍零件的材質(zhì)、形狀、尺寸、使用環(huán)境以及實驗?zāi)康牡纫蛩剡M行綜合考慮,同時還需考慮鍍液的成本、環(huán)保性和操作難度等因素。 環(huán)保型電鍍設(shè)備的廢氣收集系統(tǒng)采用蜂窩狀活性炭吸附塔,深度處理酸霧廢氣,確保排放達標。
電鍍滾鍍機與電鍍生產(chǎn)線的關(guān)系
從屬關(guān)系:滾鍍機是電鍍生產(chǎn)線的執(zhí)行設(shè)備之一
1.電鍍生產(chǎn)線的系統(tǒng)構(gòu)成
電鍍生產(chǎn)線是涵蓋前處理(除油、酸洗)→電鍍處理(鍍槽設(shè)備)→后處理(清洗、鈍化、干燥)→自動化控制的完整流程系統(tǒng),目標是通過電化學原理在工件表面沉積金屬鍍層(如鍍鋅、鎳、銅、鉻等)。
關(guān)鍵設(shè)備包括:鍍槽(如滾鍍機、掛鍍槽、連續(xù)鍍設(shè)備)、電源、過濾循環(huán)系統(tǒng)、加熱/冷卻裝置、傳輸裝置(如行車、鏈條)等。
2.滾鍍機的定位
滾鍍機是電鍍處理環(huán)節(jié)中用于批量小件電鍍的鍍槽設(shè)備,屬于電鍍生產(chǎn)線的“執(zhí)行單元”,主要解決小尺寸、大批量工件(如螺絲、電子元件、五金件)的高效電鍍問題。與掛鍍機(適用于大件或精密件,單個懸掛電鍍)、籃鍍(半手工操作,適用于中等尺寸工件)共同構(gòu)成電鍍生產(chǎn)線的不同鍍槽類型。 自動化電鍍線的機器人上下料系統(tǒng),通過視覺識別定位工件,實現(xiàn)高精度無人化操作。海南超硬鍍層電鍍設(shè)備
連續(xù)鍍設(shè)備針對鋼帶、銅線等帶狀材料,通過自動化傳輸實現(xiàn)高速電鍍,常見于電子線路板鍍錫。海南超硬鍍層電鍍設(shè)備
電泳生產(chǎn)線的特點
1.高效均勻
涂層厚度可控(通常 5~30μm),且無論工件形狀多復(fù)雜(如內(nèi)腔、焊縫),均可通過電場均勻覆蓋,尤其適合結(jié)構(gòu)復(fù)雜的工件(如汽車車身)。
2.環(huán)保節(jié)能
電泳漆以水為溶劑,VOC(揮發(fā)性有機物)排放低,符合環(huán)保要求;電能和涂料利用率高,浪費少。
3.高防腐性
陰極電泳涂層具有優(yōu)異的耐腐蝕性,是汽車車身防腐的工藝(如汽車底漆耐鹽霧測試可達 1000 小時以上)。
4.自動化程度高
從工件上線到涂層固化全流程自動化,減少人工干預(yù),提高生產(chǎn)效率和一致性。
5.適用范圍廣
適合批量生產(chǎn),工件材質(zhì)包括金屬(鋼鐵、鋁、鋅合金等)、塑料(需導(dǎo)電處理)等。 海南超硬鍍層電鍍設(shè)備